超臨界二氧化碳在硅片清洗行業中的應用

2019-03-02 13:42:08 吳風池 9

       超臨界二氧化碳對非極性有機化合物有極強的溶劑能i,它能有效的去除基片上的油脂和手指痕跡。超臨界二氧化碳清洗后不留下任何殘留溶劑,而且不像水溶劑清洗那樣使基片表面羥基化。對硅片表面微粒清洗的動力學研究表明,良好的清洗效果取決于剪切力、高壓和微粒的溶解。為了徹底去除有機微粒,常常在超臨界二氧化碳中添加助溶劑。雖然助溶劑的作用機理比較復雜,尚待深入研究,但其對溶解度的明顯的增強效果,已被實驗所證實。在溫度60度時,從對不同含量的乙醇對萘普生在超臨界二氧化碳中的溶解度的影響可看出,隨著乙醇含量的增加,萘普生的溶解度有了很大的增強,而且壓力越高,溶解度的增強作用越明顯。超臨界二氧化碳清洗輔以能形成逆微乳膠的表面活性劑,可以大大增加對離子型和極性組分的溶解能力,而且可以通過調節表面活性劑的濃度,來調節清洗的選擇性。

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